Bij resistivity onderzoek wordt gekeken naar hoe materialen elektriciteit geleiden of er juist weerstand er aan bieden. Het speelt een belangrijke rol bij het ontwikkelen van chips en andere halfgeleiders. De techniek is ontwikkeld bij AT&T's Bell Telephone Labs maar wordt momenteel verder ontwikkeld bij Physical Acoustics. Elke legering heeft zijn eigen resistivity waarde van de elektrische weerstand. Binnen hetzelfde proefstuk kan de resistivity variëren door lokale samenstelling en interne structuur/defecten.

De instrumenten genereren snel wisselende gelijkstroompulsen op twee van de vier pennen op de probe. De andere twee meten het resulterende voltage en dit voltage wordt verder elektronisch verwerkt. De verkregen data kan digitaal worden vastgelegd, zodat automatische procesbesturing/data recording mogelijk wordt. Het systeem kan direct meten of er veranderingen/defecten in het materiaal hebben plaatsgevonden door mechanische of andere bewerkingen, waarop actie ondernomen kan worden.

Toepassingen: